此时大家都是通过外面的屏幕来观看里面的实验。
因为人太多,就会带入很多细菌和灰尘。
此时苏晨在实验室中担任指挥,其他科研人员都在紧急调配。
里面是一个非常小巧的机器。
大家看了以后都很疑惑。
因为极紫外光刻机大家不是没有见过。
体型非常庞大!
毫不夸张的说,相当于一辆公共汽车大小!
通体白色,非常占地方。
而净室里的机器看去只有一张办公桌那么大,机型是黑色的。
看去就像是国外生产光刻机的斯麦尔集团生产的阉割版。
让人有些担心,这种机器真的可以做到7nm、5nm,乃至未来几年会出现的3nm的光刻任务吗?
此时里面的苏晨已经恢复了精神,面色平静,没有一丝感情。
似乎他已经没有体力让自己兴奋起来!
“老师,实验可以开始了。”
苏晨开口说道。
杨平按下麦克风的按钮:“第9次芯片生产实验,启动!”
随着一声令下。
科研人员操作者机械臂,吸附起了一块12英寸的晶圆。
放入正在传送的履带之后,晶圆被拖动进入了黑色的光刻机之中。
旁边的操作人员紧张的汇报着数据。
因为过于紧张,连声音都有些颤抖。
“报告……启动程序无故障!”
“电压稳定设备运行正常!”
“监控设备运行正常!”
“……”
此时整个研究室鸦雀无声,落针可闻!
大家仿佛可以听到,机器中低落的液态金属锡被光脉冲轰击的声音。
要知道,这东西的声音人类几乎不可能捕捉到!
但是此时大家就是可以听到!
出了仪器发出的细微声响之外。
整个净室,哪怕大家相距胜远,都能听到彼此的呼吸声!
苏晨目光在这一刻死死地盯着主控台的主屏幕,看着显示屏幕的光刻进度条。
进度条一点点的衍生,他的手心开始湿润了起来。
这场实验已经接近十次了!
这次是最接近成功的一次!
极紫外光刻机太重要了。
有了它,只要有了芯片图谱,就可以制造出来相应的芯片!
而就在不久之前,杨平实验了5nm芯片图谱,还在实验阶段!
而今天,他们就是要利用光刻机生产5nm芯片!
如果真的可以做到这些,那么国家的半导体产业将会迈出史诗性的第一步!
终于,在万众瞩目中,进度条拉满!
一块晶圆被吐了出来,机械臂再度吸起来,然后放入蚀刻机。
这个步骤不复杂,只是将暴露的单晶硅蚀刻掉。
露出光刻后的凹槽。
然后注入离子,让单晶硅拥有晶体管开关的特性。
在用铜进行晶体管间的连接工作。
在芯片彻底产出之前,大家都不敢说话。
时间一分一秒过去,终于到了切割的步骤。
终于,晶圆被切割成了700片小的芯
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