吧。”
“嗯,明天等你!”
说完之后,苏晨放下了电话。
不知道为什么,他竟然有些期待明天的晚餐。
最近实验室这边的饭已经有些吃腻了。
……
翌日。
器材被放入了净室之内。
因为最后一步抛光之后,硅片需要做最好的避尘措施,否则沾染了灰尘的话,很可能就会在涂抹光刻胶的环节将灰尘封锁在内。
到时候光刻时,数百微米的尘埃会阻碍纳米级的光刻技术。
苏晨和杨平换了防尘服,在经过360度无死角的热烘之后,算是彻底清除了身的尘埃,正式进入实验室。
很快,实验室开始了最后的实验——将硅片进行化学机械抛光。
几个科研人员调试好设备之后,从密封箱中拿出了一片硅片。
此时硅片的颜色还是略带暗沉。
将硅片固定到可以旋转的抛光仪器,一切就准备完成了。
“实验开始。”
中控室下达命令。
几个科研人员开始操作机器的旋钮。
很快硅片就在卡槽内开始旋转起来。
其实这一步也属于打磨,只不过要在打磨之后完成抛光。
很快在三个刷头的研磨下,暗沉的硅片开始散发出了光泽!
几分钟后,硅片表面完全变成了一个非常完美的镜面!
抛光完成之后,涂胶机的触手吸住了硅片,将硅片放到了另一个卡槽里。
托盘开始旋转,光刻胶就从触手的吸盘处开始向外扩散。
一层黑色的光刻胶就均匀的涂抹在了硅片。
因为做过倒角的原因,光刻胶非常均匀,而且边缘部分也没有沉淀!
检验这张12英寸晶圆的最好方法就是放入光刻机,直接进行光刻!
所以几乎是马不停蹄,晶圆被吸入了光刻机里。
经过几分钟的等待,一片光刻好的晶圆就诞生了。
直到这一步,所有的工程师才欢呼起来!
“成功了!”
“一次性成功!”
“天啊,真不敢相信,我们居然有了光刻机和芯片的原材料!”
很快,一片片的晶圆开始进行抛光然后涂胶。
不多时,详细数据就已经有了。
“报告,12英寸晶圆生产线的损耗率仅有%”
“损耗率比国外低%!”
这个数据无疑是惊人的!
因为%的损耗率实在是太低了。
硅片因为过薄而崩裂是一种非常常见的事情!
而%的损耗代表什么!?
每一百片硅片会崩1~2片!
国外可不只是这么简单了!
几个院士此时也无比激动!
这个成品率简直惊世骇俗!
其实最大的原因还是因为多线切割机这个想法!
简直是一个极度聪明的点子!
现在。
12英寸晶圆实现国产,国内的芯片制造就彻底不需要担心被卡脖子了!
而且芯片成本也会大幅度下降!
直到现在,华夏的芯片之路才算是真正的和国外走在了同一个水平线!
“小苏,你真是半导体行业的天才!”
“%的损耗率!了不起啊!这次苏晨在12英寸晶圆技术,有无可替代的作用!”
“要不是小苏的这些图纸,我们恐怕五年之内都要对国外望其项背啊!”
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